JZJS型機組主要是由二大部分組成，即泵部分（抽氣部分）和電源控制部分，JZJS三級機組的泵部分是由兩台羅茨真空泵和一台雙極水環式真空泵三級串聯而成，其中雙極水環泵叫做前級泵，與被抽容器相聯的羅茨真空泵叫做主泵級，與前級和主泵級相聯的一級羅茨真空泵叫做中間級，如果去掉中間級羅茨真空泵，就構成JZJS二級機組。三級機組的極限真空可比二級機組的極限真空提高一個數量級而進入25Pa或更高。
由於普通型羅茨真空泵不能在大氣下啟動，故需在其排氣端預先抽成真空，然後再啟動，所以在羅茨真空泵出口須配備前級真空泵（簡稱前級泵）作為預抽泵。對於JZJS三級機組而言，主泵級的前級泵是中間級，中間級的前級泵為雙極水環泵。對於JZJS二級機組而言，主泵級的前級泵即為雙極水環泵。
各級真空泵之間抽速比（後級泵抽速與前級泵抽速相比）要符合一定的比例。考慮到在高抽速比下前級泵配用功率和抽排氣能力的不足對後級真空泵的不利影響。一般抽速比不宜大於3，而以取抽速比為2左右為佳。
由於羅茨真空泵具有優良的抽氣特性（在低壓下具有大的抽速），且在羅茨真空泵的極限真空範圍內使用羅茨真空泵作為後級泵，總能比前級真空泵提高一個數量級的真空度（如前級真空度為100Pa那未使用羅茨真空泵作後級泵，就可提高到10Pa,余類推）。由於羅茨真空泵的轉子與轉子，轉子與泵腔均無機械接觸，無需潤滑，故其功率損耗就明顯小於具有相同抽速的其他類機械真空泵。又由於JZJS型機組配備雙極水環泵作為前級泵，所以對抽除具有一定腐蝕性，含水蒸氣量大的工業流程特別適宜。
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