證券時報消息 據媒體報導,中微半導體設備(上海)有限公司自主研製的5納米等離子體刻蝕機最近經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。刻蝕機是芯片製造的關鍵裝備之一,業內預計,中微已通過驗證的國產5納米刻蝕機,會獲得比7納米生產線更大的市場份額,相關公司有望受益。上市公司中,可立克(002782)通過創投基金參股中微半導體。四川雙馬(000935)通過義烏和諧參股中微半導體。
國產刻蝕機入選全球首條5納米芯片產線 2家A股公司參股
公開日: 2018-12-18
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